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Inspec-DK Series
Inspec-DK7G
Inspec-DK4G


 
 
 
 
 

 
 
为测量LCD用Glass的尺寸, Edge的研磨量,以及弯曲的非接触三坐标测量机
适用于使用Granite基板, Linear Motor的Air Bearing Stage.
适用于绝断震动的Passive Type Isolator.
适用于Vacuum Chuck及Glass Pin up/down Module .
适用于Continuous Image Auto-Focus Module.
适用于利用高性能CCD摄像头及Optical Sensor的非接触式测量方法.
 


 
 
项目 Inspec-DK4G
测量范围 X
Y
Z
1000 mm
1200 mm
200 mm
最大玻璃测量尺寸 Up to Gen4 Glass(730x920 mm)
分辨率 0.1 ㎛
测量精度 Align Key ± 1 ㎛ (3 σ)
Straightness ± 3 ㎛ (3 σ)
研磨量 ± 3 ㎛ (3 σ)
Flatness ± 10 ㎛ (3 σ)
重复精度 ± 1.0 ㎛ (3 σ)
最大驱动速度 X,Y
Z
400 mm/s
200 mm/s
画像检出 B&W先进扫描CCD摄像头
照明装置 高亮度LED程序控制环照明
高亮度LED程序控制侧射照明
单次测量装置 Laser Displacement Sensor (分辨率: 0.05 ㎛)
最大承重 30 kg
外围尺寸 X
Y
Z
1980 mm
1750 mm
1810 mm
设备重量 4,500 kg
 

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