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Gen8
DKGA-GEN4
DKL


 
 
 
 
 

 
 
作为LCD及PDP测量/检查用设备,适用于Linear Motor的 LM Guide Gantry Type Stage.
各轴用大理石构成热变形及下垂最小化.
适用于防止震动的Passive Type Isolator
(Active Type Isolator Option).
适用Vacuum Chuck及Sample Pin up/down(Option).
X轴可适用3个(Option).
 


 
 
项目
DKL-7Gen
DKL-8Gen
移动距离
X
Y
Z
1950 mm
2250 mm
200 mm
X
Y
Z
2400 mm
2600 mm
200 mm
最大适用玻璃尺寸
1950 x 2250
2200 x 2600
分辨率
0.1 ㎛
0.1 ㎛
最大速度
X
Y
Z
500 mm/sec
500 mm/sec
300 mm/sec
X
Y
Z
500 mm/sec
500 mm/sec
300 mm/sec
最大加速度
X
Y
Z
0.4 G
0.2 G
0.1 G
X
Y
Z
0.4 G
0.2 G
0.1 G
位置精度
< ± 3.0 um
< ± 3.0 um
重复精度
< ± 1.5 um
< ± 1.5 um
Squareness
< ± 5 arc-sec
< ± 5 arc-sec
Pitch and Roll
< ± 5 arc-sec
< ± 5 arc-sec
Yaw
< ± 5 arc-sec
< ± 5 arc-sec
外围尺寸
X
Y
Z
3115 mm
3400 mm
1823 mm
X
Y
Z
3323 mm
3600 mm
1823 mm
设备重量
8000
9500
* Controller : DKS(德仁开发), UMAC, PMAC 可适用
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