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Gen8
DKGA-GEN4
DKL


 
 
 
 
 

 
 
作为LCD及PDP工程用设备,适用于Linear Motor的 Air Bearing Gantry Type Stage.
为确保精度使用Laser Scale.(Option)
各轴用大理石构成热变形及下垂最小化.
适用于防止震动的Passive Type Isolator.
(Active Type Isolator Option)
适用Vacuum Chuck及Sample Pin up/down.(Option)
可实现工程装置与Stage 移动同期化(Option)
 


 
 
项目
Specification
移动距离
X
Y
Z
2400 mm
2600 mm
 100 mm
最大适用玻璃尺寸
Up to Gen8 Glass(2146 x 2460 mm)
分辨率
X
Y
Z
 0.1 ㎛
0.02 ㎛
 0.1 ㎛
最大驱动速度
X
Y
Z
600 mm/s
150 mm/s
300 mm/s
速度波
X
Y
± 0.15%(LM Guide)
± 0.10%(Air Bearing)
最大加速度
X
Y
0.3 G
0.3 G
位置精度(保证后)
< ± 1.5 ㎛ (Full travel range)
Scanning (X)精度
< ± 0.5 ㎛
Translation (Y)精度
< ± 0.5 ㎛
Straightness
< ± 4 ㎛
Chuck Flatness
< ± 100 ㎛
外围尺寸
X
Y
Z
3600 mm
5400 mm
2100 mm
 
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