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SLS-200
SLS-500


 
 
 
 
 

 
 
Air Bearing Stage 适用
Auto Focus System 适用
Glass Alignment Tool 适用
Position Based Triggering 适用
6” Wafer用
Poly-Si 结晶化用
 


项目
SLS-200
Stage
Travel length
X
160 mm
Y
160 mm
Resolution
X
0.05 um
Y
0.01 um
Accuracy
Full
± 1 um
100mm
± 0.1 um
Max. Velocity
X
100 mm/s
Y
50 mm/s
Settling Time
0.20 sec
Chuck Flatness
± 5 um
Optics
Beam Field Size
2 mm x 2 mm
Resolution
Lines
2 um
Spaces
2 um
Homogeneity
± 5 %
Depth of Focus
27 um
Laser Energy Density
1.0J/cm2
Laser
Power
40.5W (100Hz x 0.405J/p)
Wave Length
308nm (XeCl)
ELA安装过程
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