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HIT-V
   
 
精密、大型非接触影像测量仪器
可应用多种传感装置:接触式,CCD,Laser
适合半导体LCD零件测量

 

 



X Y

Z

        测量范围(mm)
300~ 300~ 50~

        分辨率(µm)

0.1

        最大允许误差(µm,L:mm)

MPE E 参照

ISO10360

3.0+L/300~

        空气需求(kg/c㎡)

4,25

        成像系统

1/2" 高精扫描CCD测头
像素阵列:1280*960
可视范围:6.4×4.8mm(Lens 1×:Lensd ependent)
远心透镜

        照明系统

LED环形光(白色)
LED同轴光(白色)
LED背景光(白色)
数字LED控制器

        选项系统

接触式测头(PH6+TP20)
激光位移传感器

电子驱动控制
利用数字信号处理技术实现先进、持续、精确的动作控制
电力供给接口及配有特殊键盘的操作手柄
标准配件
空气干燥器
油污过滤器/空气过滤器
* 可以根据要求制作高精度及特殊的模块
* 为了改善性能,上述内容可以不提前预告而进行变更
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