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SIGMA (小型高精密)
SIGMA (中型高精密)
MHB (中大型)
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MHG (大型)
GIANT (大型)
PFB (超精密)
HIT-V (非接触)
VIKI (小型高精密非接触)
PLUTO (大型高精密非接触)


 
 
 
 
 

 
PFB
   
采用移动工作台结构确保了最高的稳定性
除去了阿贝误差,实现了超精密测量
热膨胀均匀分布确保了补偿和校正的均一性
各轴使用花岗岩,受温度影响最小化
适合测量量规级高精密零部件
 


Model

454 554 564
   测量范围(mm)
X
Y
Z
400
500
400
500
500
400
500
600
400

   总尺寸(mm)

X1
Y1
Z1
Z2
Z3
1580
1380
2160
1820
770
1680
1380
2160
1820
770
1680
1580
2160
1820
770

   分辨率(μm,标准精度/超高精度)

0.05 / 0.02
   最大允许误差 (μm,L:mm)
标准精度E
高精度E
0.9+L/300
0.5+L/300
   空气要求 (kg/c㎡, NL/min)
4, 25
   最大承重量 (kg)
100

   设备重量(kg)

1400 1450 1500
电子驱动控制
利用数字信号处理技术实现先进、持续、精确的动作控制
电力供给接口及配有特殊键盘的操作手柄
标准配件
夹具
冷干机
教育模块
油过滤器/空气过滤器
配套基准球(直径25mm)
* 可以根据客户要求制造高精度及特殊式样
* 上述内容会因性能的改善而有所变更
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