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SIGMA
   
采用双边高架桥式结构,使Y轴驱动中心和重心一致,结构稳定
热膨胀均匀分布,确保了补偿和校正的均一性
各轴采用花岗岩,受温度影响最小化
采用精密设计及加工的高刚性空气轴承,确保稳定的气浮状态
高精密高性能设备
适合小型精密零部件测量
 


Model

554 564
   测量范围(mm)
X
Y
Z
500
500
400
500
600
400

     总尺寸(mm)

X1
Y1
Z1
Z2
Z3
1330
1420
2230
1940
825
1330
1420
2230
1940
825

     分辨率(μm)

0.05

     最大允许误差 (μm,L:mm)

MPE E 参照

ISO10360

1.2+L/300
     空气要求 (kg/c㎡, NL/min)
4, 25
     最大承重量 (kg)
400 500

     设备重量(kg)

600 650
电子驱动控制
利用数字信号处理技术实现先进、持续、精确的动作控制
电力供给接口及配有特殊键盘的操作手柄
标准配件
夹具
冷干机
教育模块
油过滤器/空气过滤器
配套基准球(直径25mm)
* 可以根据客户要求制造高精度及特殊式样
* 上述内容会因性能的改善而有所变更
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