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ELA是什么?

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ELA : Excimer Laser Annealing,即准分子激光退火。

准分子激光退火:用准分子激光作为热源,激光经过透射系统后,会产生能量均匀分布的激光束并被投射于非晶硅结构的玻璃基板上,当非晶硅结构的玻璃基板吸收准分子激光的能量后,就会转变成为多晶硅结构。


生活中,我们可以听到LTPS屏。LTPS (Low Temperature Poly-Silicon),即低温多晶硅。

传统的非晶硅材料(a-Si)的电子迁移率只有0.5 ~1 cm2/V S,而低温多晶硅材料(LTPS)的电子迁移率可达50~200 cm2/V‧S,因此与传统的非晶硅薄膜晶体管液晶显示器(a-Si TFT-LCD)相比,低温多晶硅TFT-LCD具有更高分辨率、反应速度快、亮度高(开口率高)等优点。同样LTPS也应用到OLED屏上也是如此。


ELA设备即为将非晶硅材料(a-Si)转化为低温多晶硅材料(LTPS)的专用设备。

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优点介绍

LTPS拥有更快的电子迁移速率更快,所以LTPS:

与传统的非晶硅LCD显示器,驱动IC与玻璃基板是不可集成的。因此,在驱动IC与玻璃基板之间需要大量的连接器。低温多晶硅技术同样没有这个问题。驱动IC可以同玻璃基板直接集成,所需的连接器数量锐减。所以LTPS:

小结

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a-Si缺点是由于不规则的原子排列状态,电子很难移动到自己想要的方向,通过ELA工程将a-Si转变为多结晶形态的LTPS,仅在多晶硅的边界上移动速度会变慢,但是在多晶硅的内部,电子的移动速度会变高(如上图所表述的概念)。

LTPS TFT通过改善这种电子的移动速度,可以实现TFT电路的高速动作,可以在短时间内供应所需的电流量,从而缩小晶体管的大小。高分辨率AMOLED由于需要高密度电路构成,通过该工艺,使得高分辨率AMOLED面板制作变得容易。现在高分辨率面板大部分都使用LTPS TFT。

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