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准分子激光晶化设备交付,助力中国半导体产业。

发布时间:2020-11-26 类别 : 公司新闻

ELA : Excimer Laser Annealing,即准分子激光退火。是高端面板制造不可或缺的关键设备。可以将显示屏玻璃基板的非晶硅材料(a-Si)转化为低温多晶硅材料(LTPS)。从而大大提高电子的迁移率。

本次交付的设备,为湖北地区第三台ELA设备,该设备将主要应用于显示面板的研发。德仁的工程师也将常驻湖北,助力该企业的技术研发。

ELA主体 chamber搬入

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激光器搬入

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开通特气

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