ELA : Excimer Laser Annealing，即准分子激光退火。是高端面板制造不可或缺的关键设备。可以将显示屏玻璃基板的非晶硅材料（a-Si）转化为低温多晶硅材料（LTPS）。从而大大提高电子的迁移率。

本次交付的设备，为湖北地区第三台ELA设备，该设备将主要应用于显示面板的研发。德仁的工程师也将常驻湖北，助力该企业的技术研发。

ELA主体 chamber搬入

激光器搬入

开通特气