济南德仁-准分子激光退火设备|准分子激光退火ELA工艺

高端显示领域的先进设备

准分子激光退火设备（ELA：excimer laser annealing）是生产 TFT-LCD / OLED 的关键设备之一。

DUKIN最早将空气轴承技术应用到该领域
DUKIN独立开了ELA系统的软件、机台、控制，可以轻松实现对生产进程，工艺数据的管理并可以迅速响应客户的订制需求。

半导体显示设备

产品介绍

Excimer Laser Annealing，即准分子激光退火设备。是
生产 TFT-LCD / OLED 的关键设备之一。

技术介绍

用准分子激光作为热源，激光经过透射系统后，会产生能量均匀分布的激光束并被投射于非晶硅结构的玻璃基板上，当非晶硅结构的玻璃基板吸收准分子激光的能量后，就会转变成为多晶硅结构。