ELA是什么?

ELA : Excimer Laser Annealing，即准分子激光退火。

准分子激光退火：用准分子激光作为热源，激光经过透射系统后，会产生能量均匀分布的激光束并被投射于非晶硅结构的玻璃基板上，当非晶硅结构的玻璃基板吸收准分子激光的能量后，就会转变成为多晶硅结构。

生活中，我们可以听到LTPS屏。LTPS (Low Temperature Poly-Silicon)，即低温多晶硅。

传统的非晶硅材料（a-Si）的电子迁移率只有0.5 ～１ cm2/V S，而低温多晶硅材料（LTPS）的电子迁移率可达50～200 cm2/V‧S，因此与传统的非晶硅薄膜晶体管液晶显示器（a-Si TFT-LCD）相比，低温多晶硅TFT-LCD具有更高分辨率、反应速度快、亮度高(开口率高)等优点。同样LTPS也应用到OLED屏上也是如此。

ELA设备即为将非晶硅材料（a-Si）转化为低温多晶硅材料（LTPS）的专用设备。

优点介绍

LTPS拥有更快的电子迁移速率更快，所以LTPS:

• 响应速度更快；

• 薄膜电路面积更小,功耗小； 

• 能实现更高的分辨率； 

与传统的非晶硅LCD显示器，驱动IC与玻璃基板是不可集成的。因此，在驱动IC与玻璃基板之间需要大量的连接器。低温多晶硅技术同样没有这个问题。驱动IC可以同玻璃基板直接集成，所需的连接器数量锐减。所以LTPS：

• 结构简单、稳定性更高
  

小结

a-Si缺点是由于不规则的原子排列状态，电子很难移动到自己想要的方向，通过ELA工程将a-Si转变为多结晶形态的LTPS，仅在多晶硅的边界上移动速度会变慢，但是在多晶硅的内部，电子的移动速度会变高（如上图所表述的概念）。

LTPS TFT通过改善这种电子的移动速度，可以实现TFT电路的高速动作，可以在短时间内供应所需的电流量，从而缩小晶体管的大小。高分辨率AMOLED由于需要高密度电路构成，通过该工艺，使得高分辨率AMOLED面板制作变得容易。现在高分辨率面板大部分都使用LTPS TFT。