Smart Factory with DUKIN
设备参数 - 大理石平台尺寸:9000mm X 3000mm X 500mm - 振动抑制性能:3Hz时95%的振动抑制 - 移动杆角度精度:4” 以内 - 通过使用激光进行移动柱位置控制来提高位置精度 - 主镜平面图:λ/ 4或更小(峰到峰) - 主镜角度精度:2”以内 - Pitch , Yaw , Roll 2” 以内
硬件 - 使用4个经纬仪对测量对象进行垂直,水平角度和排序的测量 - 使用夹具将测量对象固定在大理石平台上 - 在大理石平台底部安装振动抑制系统,以最大程度地减少环境的影响 - 利用设置在相反两个角落的主镜进行经纬仪校准
设备规格
主镜规格
隔振系统规格